10月16日，2024集成電路關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)合作大會(huì)在德州天衢新區(qū)召開(kāi)，這已是天衢新區(qū)第三年承辦國(guó)家級(jí)產(chǎn)業(yè)盛會(huì)。經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者了解到，自2013年至今共11年間，德州天衢新區(qū)的新一代信息產(chǎn)業(yè)從無(wú)到有、從有到優(yōu)、從優(yōu)到精，產(chǎn)值增速創(chuàng)造“70倍奇跡”。

近年來(lái)，山東堅(jiān)持把新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)作為“十強(qiáng)”產(chǎn)業(yè)之首，高位推動(dòng)信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)快速高效發(fā)展，以德州等城市為原點(diǎn)，山東在新一代信息技術(shù)全國(guó)產(chǎn)業(yè)版圖中獲得一席之地。

龍頭企業(yè)引領(lǐng)原創(chuàng)產(chǎn)品和技術(shù)

山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司（下稱(chēng)“有研艾斯”）位于德州天衢新區(qū)布局的集成電路關(guān)鍵材料基地內(nèi)。在這里，一根根單晶硅棒被切割成1毫米厚的硅片，經(jīng)過(guò)倒角、研磨、拋光等40余道工序后，就形成了出廠成品，待統(tǒng)一檢查包裝后發(fā)往全國(guó)各地。據(jù)悉，有研艾斯此前攻克了單晶微缺陷、硅片平整度、表面玷污等關(guān)鍵技術(shù)難題，成為當(dāng)前省內(nèi)唯一能生產(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè)。

有研艾斯相關(guān)人士介紹，“硅片直徑越大，對(duì)材料和技術(shù)的要求就越高，制造難度也越大，生產(chǎn)過(guò)程涉及亞微米甚至納米級(jí)別的結(jié)構(gòu)，工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品質(zhì)量參數(shù)一致性、單臺(tái)設(shè)備產(chǎn)能和產(chǎn)品單位成本持續(xù)降低控制等都是需要考慮的因素�！�

據(jù)了解，12英寸硅片技術(shù)參數(shù)要求較高，各工藝環(huán)節(jié)需要長(zhǎng)期積累，其中單晶工藝是最為核心的技術(shù)，其決定了硅片尺寸、電阻率、純度、氧含量、位錯(cuò)、晶體缺陷。隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化和制程精細(xì)化，12英寸硅片為當(dāng)前及未來(lái)較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)的主流產(chǎn)品。

山東有研半導(dǎo)體材料有限公司、有研艾斯、有研億金新材料（山東）有限公司……德州是中國(guó)有研科技集團(tuán)有限公司（下稱(chēng)“有研集團(tuán)”）在全國(guó)投資布局規(guī)模最大、業(yè)務(wù)領(lǐng)域最廣的科技成果轉(zhuǎn)化基地。據(jù)了解，目前，有研集團(tuán)已投資近百億元，共布局了7個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目，德州天衢新區(qū)涵蓋主要6個(gè)項(xiàng)目，可年產(chǎn)各類(lèi)硅片900余萬(wàn)片、靶材4.3萬(wàn)塊、12至18英寸硅單晶400余噸。

產(chǎn)業(yè)規(guī)模增長(zhǎng)約70倍

據(jù)介紹，自2013年威訊聯(lián)合半導(dǎo)體（德州）有限公司落戶(hù)開(kāi)始，德州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)強(qiáng)力起勢(shì)，逐步形成單晶硅材料、芯片設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試、設(shè)備材料、終端應(yīng)用的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。

2018年，德州與有研集團(tuán)“牽手”，合作建設(shè)集成電路關(guān)鍵材料基地，規(guī)劃面積近千畝，德州天衢新區(qū)由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向集成電路產(chǎn)業(yè)延伸拓展，發(fā)展駛?cè)肟燔?chē)道。此后，有研系的12英寸硅片、高純?yōu)R射靶材、刻蝕設(shè)備用硅材料及硅片擴(kuò)產(chǎn)等六大項(xiàng)目相繼落地，總投資近百億元。全部達(dá)產(chǎn)后，8英寸硅片將占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額10%、12英寸硅片占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額20%，高端靶材占全球市場(chǎng)份額20%以上�！皩⑦@些高端項(xiàng)目集聚在一個(gè)基地，放眼全國(guó)也不多�！钡轮萏灬樾聟^(qū)黨工委委員、管委會(huì)副主任李濤表示。

今年，總投資50億元的激光雷達(dá)及傳感器件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目落戶(hù)德州天衢新區(qū)并開(kāi)工建設(shè)。作為第二代半導(dǎo)體領(lǐng)域的鏈主，該項(xiàng)目具備垂直一體化生產(chǎn)能力，可為多家企業(yè)提供配套服務(wù)。至此，德州天衢新區(qū)形成了從襯底外延、芯片制造、封裝測(cè)試、器件模組到終端應(yīng)用的完善產(chǎn)業(yè)生態(tài)，憑借長(zhǎng)且豐富的產(chǎn)業(yè)鏈，進(jìn)軍為新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的一名“優(yōu)等生”。

項(xiàng)目招來(lái)了，還更要留得住、發(fā)展好。德州天衢新區(qū)超前實(shí)施產(chǎn)業(yè)布局，規(guī)劃打造“兩區(qū)+四園”。其中，“兩區(qū)”指3000畝的集成電路和電子信息產(chǎn)業(yè)，“四園”即76萬(wàn)平方米的電子信息產(chǎn)業(yè)園、手機(jī)制造產(chǎn)業(yè)園、智能終端產(chǎn)業(yè)園、京津冀創(chuàng)新轉(zhuǎn)化中心。德州市有90%的新一代信息技術(shù)規(guī)上企業(yè)在此集聚，實(shí)現(xiàn)了“引來(lái)一家企業(yè)、帶來(lái)一片產(chǎn)業(yè)、興起一個(gè)園區(qū)、激活一座城市”的規(guī)模效應(yīng)。

據(jù)介紹，目前，德州天衢新區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展勢(shì)頭向上向好、效益明顯提升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模由2013年的1.27億元增至2024年的90.6億元，11年間增長(zhǎng)了約70倍。

（大眾新聞·經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào)記者 于婉凝 謝衛(wèi)振）